FABRIKASI SENSOR GAS ETANOL BERSTRUKTUR ITO-ZNO-ITO PADA SUBSTRAT KACA

Abstract

Perkembangan industri energi yang berkelanjutan menuntut sensor gas dengan performa tinggi dan responsif. Sensor berbasis Metal Oxide Semiconductor (MOS) menawarkan keunggulan seperti sensitivitas tinggi, biaya produksi yang relatif rendah, dan daya tahan yang baik. Namun, sensor MOS masih menghadapi kendala utama berupa sensitivitas yang terbatas dan selektivitas yang kurang maksimal terhadap gas target. Untuk mengatasi hal tersebut, penggunaan elektroda Indium Tin Oxide (ITO) sebagai modifikasi elektroda potensial dapat meningkatkan performa sensor gas. Dalam penelitian ini, elektroda yang digunakan pada substrat berstruktur ITO ZnO-ITO. Analisis struktur kristal dan morfologi permukaan dilakukan menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM). Selain itu terdapat karakterisasi optik lainnya, seperti UV-Vis spectrophotometer dan digital microscope. Uji performa sensor gas dilakukan terhadap gas pereduksi etanol pada suhu ruang. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa penggunaan elektroda ITO secara signifikan meningkatkan respons dan stabilitas sensor gas berbasis MOS. Selain itu, material ZnO berhasil ditumbuhkan di atas permukaan substrat kaca dengan berukuran nano. Berdasarkan hasil uji performa gas, didapatkan sensitivitas yang terus meningkat seiring penambahan konsentrasi gas etanol. Hasil sensitivitas tertinggi diperoleh pada rasio ZAD:HMTA 1:3 0.1 M dengan nilai 2.964.