FABRIKASI DAN ANALISIS DEVAIS SENSOR GAS ETANOL BERBASIS MATERIAL OKSIDA SEMIKONDUKTOR

Abstract

Penelitian ini membahas desain, fabrikasi, dan karakterisasi sensor gas etanol berbasis semikonduktor oksida. Sensor gas didasarkan pada zinc oxide yang ditumbuhkan diatas sapphire dengan menggunakan sintesis hidrotermal. Morfologi bahan penginderaan yang terbentuk berupa coalesced structure (lapisan film). Dalam fabrikasi devais sensor gas, elektroda perak dibentuk dengan paduan dengan suhu pemanasan 250 °C selama 15 menit. Pengujian sensor gas etanol dilakukan dengan dua variabel uji dalam bentuk konsentrasi gas dan waktu pengukuran. Hasil pengujian sensor gas berdasarkan material berupa coalesced structure menunjukkan kurva I-V linear atau karakteristik ohmic. Pengukuran konduktivitas menunjukkan bahwa semakin besar konsentrasi etanol, semakin besar konduktivitas dan sebaliknya. Konduktivitas maksimum yang diperoleh adalah 5 nS dengan 100ppm etanol, diambil 20 menit setelah larutan etanol menetes ke dalam chamber. Sensitivitas sensor gas adalah 1,5 dengan 100ppm etanol. Sensitivitas dievaluasi oleh perubahan resistensi dengan dan tanpa etanol. Hasil ini membuktikan bahwa sensor gas fabrikasi dapat mendeteksi dan merasakan keberadaan etanol.